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超声波清洗机在玻璃硅片清洗中的运用

  超声波清洗机在玻璃硅片清洗中的运用很广泛,在半导体器件玻璃硅片的生产过程中,对产品的洁净度有极为严格的要求,即便是微量污染也可能会导致器件的失效,而可用于清洗玻璃硅片的超声波清洗机则可以达到有效的清洗,在配合使用有效的清洗剂,不管是有机的还是无机的污染杂质都可以一并清除。

  在玻璃硅片的生产加工中,其表面的污染杂质极为复杂,既有有机污染物包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡、油脂或纤维;也有无机污染物包括重金属金、铜、铁、铬等;还有颗粒污染包括硅渣、尘埃等。这些污染物有的以原子或离子状态呈现,有的以薄膜或颗粒形式存在于硅片表面上,传统的清洗方法都难以有效清除。

  玻璃硅片超声波清洗机清洗是一种环保的水基清洗工艺,设备采用全封闭式的结构,其内部运行的设备为具有针对性,有效防止交叉污染,比如清洗区域与维护区域是隔离的,以确保润滑油脂及运动磨损不会对所清洗的玻璃硅片产生二次污染。另外这种设备的工作室是长期处于洁净的状态,从而确保极高的清洁度。

玻璃硅片超声波清洗机应用范围
  在实际生产作业中,多槽式超声波清洗机可以完成从粗洗、精洗到烘干一整个流程,除了适用于半导体器件清洗如玻璃硅片,也适用于水晶、光学玻璃、蓝宝石等。此外,超声波清洗设备在五金配件清洗中的使用越来越广也是显而易见的。

超声波清洗机

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